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高精度纳米转台

发布时间:2023-11-18浏览次数:254
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      高精度纳米转台基于压电惯性驱动原理,提供无限行程的同时保证纳米级分辨率,借助独特的硬件及控制算法,可以在高频电压驱动下实现高速运动。纳米转台拥有极高的可拓展性和可集成性。

支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。



技术特点:配图产品雷达表C-02.jpg

  • 高精度、高稳定性、高运动速度

  • 轴心误差和晃动补偿与抑制

  • 支持开环/闭环运动模式

  • 超高真空兼容性

  • 轻量化设计,结构紧凑

  • 模块化设计,摩擦单元可替换


应用领域:

  • 样品检验

  • 精密微组装

  • 光路切换

  • 显微CT

  • 机器视觉

  • 半导体检测


机械参数:


型号

RP-50C

RP-100C

转动行程

360°(θZ)360°(θZ)

几何尺寸

60*60*14.5mm100*17mm

竖直最大负载

2kg4kg

重量

180g400g


精度参数:


转动重复精度

200µrad

最小转动分辨率 

20µrad


工作环境:


支持真空环境

1x10-6 Pa


资料下载




高精度纳米转台二维图+三维模型.zip


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