澳门,新莆京游戏7906-AG Home

一维长行程纳米促动器

发布时间:2023-11-18浏览次数:307
  • 一维长行程纳米促动器
  • 一维长行程纳米促动器
  • 一维长行程纳米促动器
  • 一维长行程纳米促动器
  • 一维长行程纳米促动器
  • 一维长行程纳米促动器
  • 一维长行程纳米促动器



       长行程纳米促动器基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术,具有纳米级重复定位精度,可实现数百mm的运动行程。该促动器结构紧凑,具有较高的保持力与长期的稳定性,能够实现跨尺度的纳米定位和复杂的轨迹运动。

支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。


技术特点:配图产品雷达表1-02.jpg

  • 超长行程:10mm~数百mm

  • 高分辨率:传感器分辨率为1.2nm

  • 超高精度:重复定位精度小于5nm

  • 运动速度:可达10mm/s

  • 高稳定性:保持力可达8N

  • 超高真空兼容性;

  • 运动模式:支持开环与闭环

  • 轻量化、结构紧凑,高可靠性

  • 模块化设计,摩擦单元可替换



应用领域:

  • 扫描电镜(SEM)样品操纵

  • 主动光学

  • 超分辨成像样品移动

  • 大范围电子束直写(EBL)

  • 微纳装备及制造

  • 集成电路制造与检测

  • 高真空样品精度对准及调姿

  • 纳米聚焦与扫描

  • 显微及纳米CT


规格参数:

 型号

 NH-X-16A

 NH-X-16B

 NH-X-36A

 NH-X-36B

 运动轴

 X轴

 X轴

 X轴

 X轴

 传感器类型

 光栅编码器

 光栅编码器

 光栅编码器

 光栅编码器

 行程(mm)

 16

 16

 36

 36

 保持力(N)

 5

 5

 5

 5

 最大承载力(N)

 20

 20

 20

 20

 尺寸(mm)

 50x52x12.5

 50x50x12.5

 65x50x12.5

 65x50x12.5

 重量 ( g)

 75.5

 75

 115

 112

 速度(mm/s)

 5

 5

 5

 5

 分辨率(nm)

 1.22

 12.5

1.22

12.5

 闭环重复定位精度(nm)

 5

50

5

50

 材料

 铝合金/钛合金

 真空度 (mBar)

 超真空兼容(5X10-9 )

NH-X-16B一维长行程纳米促动器-01.jpg


资料下载




一维长行程纳米促动器二维图+三维模型.zip


微信扫码微信扫码 关注我们

  • 24小时咨询热线0633-8223966

  • 邮箱info@attomotion.com

Copyright © 2022 阿米精控科技(山东)-澳门,新莆京游戏7906有限公司 All Rights Reserved. 地址:山东省日照高新区新一代信息技术产业园15号楼 鲁ICP备2022023997号 XML地图

XML 地图