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一维压电定位/扫描平台

发布时间:2023-11-18浏览次数:292
  • 一维压电定位/扫描平台

      纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动,内置光栅/电容位移传感器,通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制,具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态位移扫描功能。

支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。


技术特点:

  • 超高定位精度

  • 高动态

  • 多运动模式:定位/扫描

  • 兼容超高真空

  • 运动行程:50~200um

 

应用领域:

  • 超分辨显微成像

  • 表面微纳结构光学检测

 

规格参数:



型号

TR-P-Z-50

运动轴

Z

传感器类型

电容式位移传感器

行程 (um)

50

闭环分辨率 (nm)

0.35

空载谐振频率 (Hz)

900

最大负载 (kg)

2

材料

铝合金

尺寸 (mm)

75X95X80



未标题-4_画板 1.jpg纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台


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一维Z向物镜平台二维图纸.pdf


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