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二维定位扫描压电纳米平台

发布时间:2023-11-18浏览次数:330
  • 二维定位扫描压电纳米平台

       纳米定位扫描平台由压电陶瓷驱动,采用双轴并联对称柔性机构设计,内置超高精度电容/光栅位移传感器,结合自主研发的纳米伺服控制系统和先进伺服控制算法,可有效实现亚纳米级分辨率、纳米级精度的定位与扫描运动。

       支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。


技术特点:

 · 超高定位精度

 · 高动态

 · 轴间运动学解耦设计

 · 多运动模式:定位/扫描

 · 兼容超高真空

 · 运动行程:50~200um


应用领域:

 · 光学对准

 · 纳米压印

 · 显微成像/操纵

 · 表面检测

 · 半导体加工


规格参数:


型号

TR-P-XY-100

位移方向

X,Y

传感器类型

光栅/激光干涉仪

行程(um)

100X100

闭环分辨率(nm)

0.35

空载谐振频率(Hz)

900

最大负载(kg)

1

材料

铝合金

尺寸(mm)

130X130X20



图片1.png

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二维定位扫描压电纳米平台二维图+三维模型.zip


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