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XYZ并联式定位扫描压电纳米平台

发布时间:2023-11-18浏览次数:328
  • XYZ并联式定位扫描压电纳米平台
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       XYZ并联式纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动,内置光栅/电容微位移传感器,通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制,具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。

       支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。


技术特点:

  • 超高定位精度

  • 多轴高动态协同联动

  • 无摩擦、零间隙、免装配

  • 高刚度、高负载

  • 紧凑型结构设计

  • 轴间运动学解耦设计

  • 多运动模式:定位/扫描

  • 可实现正置、倒置的灵活应用

  • 真空兼容性,温度使用范围广


应用领域:

  • 扫描电子显微镜

  • 同步辐射光源

  • 显微操作

  • 双光子聚合


规格参数:

型号

NP-ST-XYZ-100

运动轴

X,Y,Z

行程(um)

100/X轴,100/Y轴,50/Z轴

闭环分辨率(nm)

0.35

传感器类型

电容式传感器

X/Y/Z向上的空载谐振频率(Hz)

600/600/550

负载(g)

200

工作温度范围(℃)

0~80

材料

铝合金、钛合金

外形尺寸(mm)

40x40x41

质量(g)

150

 三轴扫描平台图纸简_画板 1.jpg

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